Программа на основе искусственного интеллекта, которая помогает находить дефекты в монолитных интегральных схемах. Она автоматически отбраковывает кристаллы и контролирует качество продукции.
Принцип работы программы:
- обнаруживает внешние дефекты МИС с помощью нейросетей;
- при отсутствии дефектов, заполняет формуляр;
- при наличии дефектов, определяет элементы, пораженные дефектами;
- классифицирует дефекты;
- вносит дефекты в формуляр;
- создаёт базу данных для обучения нейросети.
Дефекты приводят не только к несовершенству внешнего вида, но и к сбоям в работе кристалла. Дефекты заметны под микроскопом, но учитывая, что на одной кремниевой пластине может находиться до 900 приборов, распознавание дефектов вручную, может быть достаточно длительным. Программа с использованием нейронных сетей позволяет автоматизировать данный технологический процесс, тем самым увеличивая общий объём производства.